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微電子製造科學原理與工程技術 [電子書] = Science and engineering of microelectronic fabrication (美) 坎貝爾著 ; 曾瑩 ... [等]譯.

館藏資訊

国外电子与通信教材系列

摘要註

本書系統地介紹了微電子製造科學原理與工程技術，覆蓋了集成電路製造所涉及的所有基本單項工藝，包括光刻、等離子體和反應離子刻蝕、離子注入、擴散、氧化、蒸發、氣相外延生長、濺射和化學氣相澱積等。對每一種單項工藝，不僅介紹了它的物理和化學原理，還描述了用於集成電路製造的工藝設備。本書還介紹了各種先進的工藝技術，如快速熱處理、下一代光刻、分子束外延和金屬有機物化學氣相澱積等。在此基礎上本書討論了如何將這些單項工藝集成為各種常見的集成電路工藝技術，如 CMOS 技術、雙極型技術和砷化鎵技術，還介紹了微電子製造的新領域，即微機械電子系統及其工藝技術。

資料來源： Google Book
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