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多晶硅微機械構件材料力學行為及微機械粘附問題研究 [電子書] / 丁建寧著.

館藏資訊

本书在系统总结国内外有关微机电系统的最新研究进展基础上,论述了微型机械设计学的研究范畴,系统地阐述了微机械构件材料力学行为和微机械粘附问题。

摘要註

本書在系統總結國內外有關微機電系統的最新研究進展基礎上,論述了微型機械設計學的研究範疇,系統地闡述了微機械構件材料力學行為和微機械粘附問題。

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