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奈米薄膜技術與應用 = Nano thin film technique and application / 陳光華, 鄧金祥編著.

  • 作者: 陳光華 (化學工程)
  • 其他作者:
  • 其他題名:
    • Nano thin film technique and application
  • 出版: 臺北市 : 五南 2005[民94].
  • 叢書名: 奈米材料硏究與應用系列
  • 主題: 奈米技術 , 薄膜
  • 版本:初版
  • ISBN: 9571139238 (平裝): NT580
  • 一般註:含參考書目及索引
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  • 引用連結:
  • 系統號: 000136528 | 機讀編目格式

館藏資訊

奈米薄膜材料具有特殊的物理和化學特性,在奈米電子學中有很重要的應用前景。本書主要介紹了當前有關奈米薄膜的製造、元件和應用中較前瞻的內容和資料,詳細地闡述了中外該領域的發展動向及趨勢。內容包括:奈米薄膜材料的基本概念;材料的製造方法以及物理、化學性能;半導體奈米量子點;Si基奈米薄膜與元件;奈米薄膜的電子轉移和單電子電導等。

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校訂者簡介: 張勁燕 現職:逢甲大學電子工程系副教授 學歷:交通大學電子工程系研究所博士 經歷:新加坡Intersil電子公司工程師    ITT環宇電子公司工程部經理    台灣電子電腦公司半導體廠廠長    萬邦電子公司總工程師    明新工專電子科副教授(或兼科主任)    逢甲大學電機系副教授(或兼系主任) 專長:半導體元件、物理    VLSI製程設備及廠務    奈米科技    積體電路構裝

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