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奈米薄膜技術與應用 = Nano thin film technique and application / 陳光華, 鄧金祥編著.
- 作者： 陳光華 (化學工程)
- 其他作者：
- 其他題名：
- Nano thin film technique and application
- 出版： 臺北市 : 五南 2005[民94].
- 叢書名： 奈米材料硏究與應用系列
- 主題： 奈米技術 , 薄膜
- 版本：初版
- ISBN： 9571139238 (平裝): NT580
- 一般註：含參考書目及索引
-
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- 系統號： 000136528 | 機讀編目格式
館藏資訊
奈米薄膜材料具有特殊的物理和化學特性，在奈米電子學中有很重要的應用前景。本書主要介紹了當前有關奈米薄膜的製造、元件和應用中較前瞻的內容和資料，詳細地闡述了中外該領域的發展動向及趨勢。內容包括：奈米薄膜材料的基本概念；材料的製造方法以及物理、化學性能；半導體奈米量子點；Si基奈米薄膜與元件；奈米薄膜的電子轉移和單電子電導等。
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校訂者簡介： 張勁燕 現職：逢甲大學電子工程系副教授 學歷：交通大學電子工程系研究所博士 經歷：新加坡Intersil電子公司工程師 ITT環宇電子公司工程部經理 台灣電子電腦公司半導體廠廠長 萬邦電子公司總工程師 明新工專電子科副教授（或兼科主任） 逢甲大學電機系副教授（或兼系主任） 專長：半導體元件、物理 VLSI製程設備及廠務 奈米科技 積體電路構裝
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