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微機電技術 / 張志誠著.

  • 作者： 張志誠 著
  • 出版： 台北市 : 商周出版 :城邦文化發行 2005[民94].
  • 叢書名： 科學新視野 ;32
  • 主題： 電機工程
  • 版本：一版五刷
  • ISBN： 9867892364 (平裝): NT260
  • 一般註：含附錄 參考書目:面249-254
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  • 系統號： 000125696 | 機讀編目格式

館藏資訊

「微機電系統」（MEMS，MicroElectroMechnical System）這個以百萬分之一公尺，也就是微米（Micrometer）為設計、製造及運作單位的科技概念，在四十多年前由諾貝爾物理學獎得主理查．費曼（Richard Feynmann）博士提出之後，經過科學家們多年的默默耕耘，終於在上個世紀末的最後十年逐漸成熟。舉凡交通、通訊與消費性電子、光電顯示、醫療保健、生醫環保、國防航太等環

資料來源： 三民書局
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